Патенты автора — Довнар Н.А.
Страна - Беларусь (BY), количество патентов - 2, получены - 1990-1991
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Способ осаждения легированных пленок поликристаллического кремния для изготовления обкладок накопительного конденсатора
Использование: в микроэлектронике, в частности способах создания накопительных конденсаторов УБИС ДЗУПВ. Сущность изобретения: способ предусматривает осаждение легированных пленок поликристаллического кремния с нанесением островкового подслоя толщиной...
- Способ изготовления накопительного конденсатора элемента памяти интегральных схем
Изобретение относится к технологии изготовления накопительных конденсаторов в элементах памяти интегральных схем. Его использование позволяет повысить выход годных интегральных схем и их качество за счет снижения дефектности. Способ включает нанесение...