Патенты автора — Былинкин С.Ф.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 24, получены - 2001-2011
- G01 – Измерение
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Чувствительный элемент углового акселерометра
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных акселерометрах. Для измерения углового ускорения используется металлическое регулировочное кольцо, которое устанавливается на планарной инерционной массе, что позволяет...
- Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур
Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении полупроводниковых микромеханических устройств, например чувствительных элементов интегральных датчиков. Сущность изобретения: в способе изготовления глубокопрофилированных...
- Чувствительный элемент микромеханического гироскопа
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа. Техническим результатом изобретения является повышение точности гироскопа. Чувствительный элемент микромеханического гироскопа содержит...
- Чувствительный элемент датчика угловой скорости
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических гироскопах для систем управления подвижных объектов различного назначения. Чувствительный элемент содержит закрепленную на неподвижном основании опорную рамку,...
- Способ управления чувствительным элементом и формирования выходного сигнала вибрационного кориолисова гироскопического датчика угловой скорости и устройство для его осуществления
Изобретения относятся к измерительной технике и могут применяться в вибрационных кориолисовых гироскопических датчиках угловой скорости. Способ заключается в одновременном возбуждении автоколебаний первой и второй (ортогональной) моды со стабилизацией...
- Чувствительный элемент микромеханического гироскопа
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в интегральных гироскопах вибрационного типа. Чувствительный элемент содержит две прямоугольные рамки: внешнюю 1 и внутреннюю 4, которые связаны жесткими перемычками 2,...
- Способ изготовления упругого элемента микромеханического устройства
Изобретение может быть использовано в технологии изготовления упругих элементов подвеса чувствительных масс микромеханических измерительных устройств. Сущность изобретения: в способе изготовления упругого элемента микромеханического устройства окисляют...
- Преобразователь перемещений
Изобретение относится к измерительной технике. Технический результат: повышение точности измерения линейных перемещений. Сущность: преобразователь содержит две полупроводниковые подложки с выполненными на них истоками и каналами, отделенным р-n...
- Приспособление для группового соединения микромеханических деталей
Использование: при изготовлении микромеханических приборов на твердом теле при групповой сборке микромеханических датчиков. Техническим результатом изобретения является обеспечение более высокого качества соединения и за счет этого повышение процента...
- Чувствительный элемент интегрального акселерометра
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться при изготовлении интегральных акселерометров. Чувствительный элемент выполнен из проводящего монокристаллического кремния и содержит маятник 4, соединенный с помощью упругих подвесов 3 с...