Патенты автора — Генцелев А.Н.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 13, получены - 1990-2012
- B01 – Способы и устройства общего назначения для осуществления различных физических и химических процессов
- G03 – Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
- G12 – Конструктивные элементы приборов
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Рентгеношаблон и способ его изготовления
Изобретение относится к изготовлению рентгеношаблонов, преимущественно для "мягкой" литографии. Сущность изобретения: в рентгеношаблоне, представляющем собой рентгенопоглощающую структуру, сформированную на полимерной пленке, закрепленной на опорном...
- Рентгенолитографический шаблон и способ его изготовления
Использование: для изготовления рентгенолитографических шаблонов. Сущность заключается в том, что при изготовлении рентгенолитографического шаблона осуществляют процессы формирования резистивной маски на рабочей поверхности исходной электропроводящей...
- Способ изготовления liga-шаблона
Изобретение относится к LIGA-технологии, а точнее к способу изготовления LIGA-шаблона (ЛИГА-шаблона), используемого для проведения первой стадии LIGA-технологии - глубокой рентгеновской литографии. Технический результат - увеличение контрастности и...
- Способ изготовления liga-шаблона
Изобретение относится к LIGA-технологии. Заявленный способ изготовления LIGA-шаблона характеризуется тем, что исходную подложку изготавливают из бериллиевой фольги, на рабочей поверхности подложки создают буферный (защитный) слой из проэкспонированного...
- Металлическая сеточная структура и способ ее изготовления
Изобретение может быть использовано для фильтрации электромагнитного излучения. Предлагаемая конструкция самоподдерживающейся металлической сеточной структуры (МСС) представляет собой тонкую перфорированную металлическую пленку, гальванически...
- Способ изготовления литографической маски для liga-технологии
Использование: для изготовления литографической маски. Сущность заключается в том, что осуществляют формирование посредством рентгеновской литографии резистивной маски на рабочей поверхности несущей мембраны или обрабатываемой подложки, являющихся...
- Способ проведения трафаретной рентгеновской литографии
Использование: для проведения трафаретной рентгеновской литографии. Сущность: заключается в том, что зафиксированный на шаблонодержателе рентгеношаблон, содержащий сформированный на его рабочей поверхности топологический рисунок и зафиксированную на...
- Способ проведения трафаретной сканирующей синхротронной рентгеновской литографии
Использование: для проведения трафаретной сканирующей синхротронной рентгеновской литографии. Сущность: заключается в том, что рентгеношаблон, содержащий несущую мембрану со сформированным на ее рабочей поверхности металлическим рентгенопоглощающим...
- Способ проведения теневой трафаретной рентгенолитографии
Способ проведения теневой трафаретной рентгеновской литографии, при котором рентгеношаблон, содержащий несущую мембрану со сформированным на ее рабочей поверхности металлическим рентгенопоглощающим топологическим рисунком и обрабатываемую подложку с...
- Литографическая маска для liga-технологии и способ ее изготовления
Использование: для изготовления литографической маски. Сущность: формируют на рабочей поверхности несущей мембраны топологический рентгенопоглощающий рисунок, при этом идентичный топологический рентгенопоглощающий рисунок из того же материала (или...