Патенты автора — Китай М.С.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 3, получены - 2011
- C08 – Органические высокомолекулярные соединения; их получение или химическая обработка; композиции на основе этих соединений
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Способ создания маски на поверхности подложки
Изобретение относится к литографии, точнее к способам создания резистивной маски на поверхности полупроводниковой подложки. Техническим результатом изобретения является повышение производительности литографии сверхвысокого разрешения, прежде всего...
- Электрооптическая полимеризационноспособная акриловая композиция, электрооптический сшитый полимерный материал и способ его получения
Изобретение относится к электрооптическим полимерным материалам, изменяющим коэффициент преломления при приложении электрического поля. Электрооптический полимерный материал получают из полимеризационноспособной акриловой композиции, которая состоит из...
- Способ создания маски на поверхности подложки
Изобретение относится к способам создания резистивной маски на поверхности подложки. Техническим результатом изобретения является увеличение разрешения литографии с высокой производительностью, использующей технологию химического усиления. Сущность...