Патенты автора — Кричевский С.В.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 4, получены - 2005-2012
- G01 – Измерение
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- H05 – Специальные области электротехники, не отнесенные к другим классам
- Генератор широкоаппертурного потока газоразрядной плазмы
Изобретение относится к области получения направленных потоков низкотемпературной плазмы с большим током и может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике при...
- Способ увеличения чувствительности и быстродействия фотоэлектрического преобразователя перемещений в код
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в авиационной и космической технике при производстве летательных аппаратов. Технический результат изобретения: повышение чувствительности, быстродействия, устранение...
- Кабель для электропитания генераторов низкотемпературной плазмы
Изобретение относится к области электропитания высоковольтных устройств, формирующих потоки низкотемпературной плазмы, и может быть использовано в микроэлектронике и дифракционной оптике при производстве интегральных микросхем и дифракционных решеток....
- Способ измерения чистоты поверхности подложек
Изобретение может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике при производстве элементов дифракционной оптики. При осуществлении способа производят сдвиг...