Патенты автора — Неустроев С.А.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 2, получены - 1992-1993
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Реактор для обработки подложек в плазме свч-тлеющего разряда
Использование: микроэлектроника, планарная технология интегральных схем. Сущность изобретения: реактор для обработки подложек в плазме СВЧ тлеющего разряда представляет собой вакуумную камеру, в которой помещены полый резонатор, рабочий столик, узлы...
- Реактор для обработки подложек в плазме свч-тлеющего разряда
(57) Использование: реактор для обработки подложек в плазме СВЧ тлеющего разряда, обеспечивающий равномерное воздействие плазмы по обрабатываемой площади. Сущность изобретения: в конструкции реактора реализована схема четвертьволнового...