Патенты автора — Салахов Н.З.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 4, получены - 1992-1994
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Способ изготовления интегральных тензопреобразователей
Использование: в измерительной технике. Сущность: способ включает формирование на обеих поверхностях кремниевой пластины первого типа проводимости диэлектрического слоя, нанесение на рабочую сторону пластины слоя тугоплавкого металла, вскрытие окон в...
- Интегральный преобразователь давления
Использование: в устройствах измерения давления. Сущность изобретения: интегральный преобразователь давления представляет собой полупроводниковый кристалл с мембраной, на рабочей поверхности которого сформирован тензорезистивный мост. Каждый...
- Интегральный балочный тензопреобразователь
Использование: в устройствах измерения перемещений и силы. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой прямоугольный модуль из кремния с двумя концентраторами механических напряжений в виде поперечных углублений...
- Интегральный балочный тензопреобразователь
Использование: в устройствах измерения перемещений, ускорений, потока, силы и давления. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой прямоугольный модуль из кремния с концентратором механических напряжений в виде...