Патенты автора — Тиняков Ю.Н.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 3, получены - 1993-2012
- G01 – Измерение
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Способ изготовления микроэлектромеханических структур и устройство для его осуществления
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых микроэлектромеханических устройств, а именно малогабаритных датчиков физических величин. Изобретение обеспечивает увеличение количества годных...
- Датчик давления
Использование: изобретение относится к датчикам давления, включающих полупроводниковый чувствительный элемент, выполненный по планарной микроэлектронной технологии, и может быть применено для измерения абсолютного, избыточного и разности давлений....
- Чувствительный элемент
Чувствительный элемент можно использовать для датчиков давления, силы, расходомеров, акселерометров. Чувствительный элемент содержит мембрану из полупроводникового материала с резисторами на лицевой стороне, основное утолщение из того же материала для...