Патенты автора — Вихарев А.Л.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 5, получены - 2002-2012
- C23 – Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом; химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще; способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще
- C30 – Выращивание кристаллов
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- Способ получения пластины комбинированного поликристаллического и монокристаллического алмаза
Изобретение относится к технологии химического осаждения из газовой фазы алмазных пленок и может быть использовано, например, для получения алмазных подложек, в которых монокристаллический и поликристаллический алмаз образует единую пластину,...
- Способ обработки подложек для выращивания на них нанокристаллических алмазных пленок большой площади
Изобретение относится к начальной стадии технологии осаждения алмазных пленок и может быть использовано для подготовки плоских подложек из различных материалов для дальнейшего осаждения на них однородных нанокристаллических алмазных пленок. Проводят...
- Переключаемый электронным пучком коммутатор для активного компрессора свч импульсов
Изобретение относится к электронике больших мощностей. Разработанный коммутатор для активного компрессора СВЧ импульсов сантиметрового диапазона состоит из одномодовой волноводной системы с узлом ввода электронного пучка, соединенной с коническим...
- Плазменный реактор для высокоскоростного осаждения алмазных пленок из газовой фазы
Изобретение относится к плазменному реактору и может найти применение для высокоскоростного осаждения алмазных пленок из газовой фазы в плазме СВЧ разряда. Плазменный реактор содержит СВЧ генератор, передающую линию, оканчивающуюся квазиоптической...
- Высокоскоростной способ осаждения алмазных пленок из газовой фазы в плазме свч-разряда и плазменный реактор для его реализации
Изобретение может быть использовано при получении поликристаллических алмазных пленок (пластин) для изготовления выходных окон мощных источников СВЧ-излучения. В реакционной камере активизируют газовую смесь водорода и углеводорода путем повышения...