Патенты — ЗАО "НТ-МДТ",ЗАО"Силикон-МДТ"
Страна - Россия (RU), количество патентов - 6, получены - 1996-1997 , коллектив авторов - 4 человека.
- G01 – Измерение
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
№ | Автор | Патенты |
---|---|---|
1 | Гологанов А.Н. | 6 |
2 | Быков В.А. | 6 |
3 | Шабратов Денис Владимирович Н/н | 2 |
4 | Беляев А.В. | 1 |
- Тестовая структура для градуировки сканирующего зондового микроскопа
Тестовая структура состоит из основания и расположенных на нем выступающих монокристаллических микроструктур с заданными геометрическими параметрами. Микроструктуры имеют горизонтальную верхнюю поверхность. Боковые поверхности микроструктур имеют...
- Способ формирования кантилевера сканирующего зондового микроскопа
Способ включает формирование на верхней и нижней сторонах кремниевой подложки первого защитного покрытия на основе нитрида кремния. Из него на верхней стороне подложки формируют локальную нитридную маску. Анизотропным травлением кремния с верхней...
- Тестовая структура для определения формы и геометрических размеров иглы сканирующего зондового микроскопа
Тестовая структура состоит из основания и расположенных на нем выступающих микроструктур геометрической формы, выполненных в виде игл. Иглы могут иметь форму многогранной пирамиды или конуса с углом при вершине менее 20o. Радиус кривизны острия может...
- Тестовая структура для градуировки сканирующего зондового микроскопа
Тестовая структура состоит из основания и расположенных на нем выступающих монокристаллических микроструктур. Микроструктуры имеют плоскую верхнюю поверхность с горизонтальными ребрами и расположены регулярно с постоянным шагом. Горизонтальные ребра...
- Многозондовый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Изобретение позволяет уменьшить расстояние между...
- Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Предлагаемый кантилевер для сканирующего зондового...