Патенты — Институт микроэлектроники РАН
Страна - Россия (RU), количество патентов - 15, получены - 1990-2000 , коллектив авторов - 35 человек.
- B05 – Способы и устройства общего назначения для распыления и нанесения жидкостей или других текучих материалов на поверхность изделий
- B06 – Способы и устройства общего назначения для получения или передачи механических колебаний
- C23 – Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом; химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще; способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще
- F16 – Узлы и детали машин; общие способы и устройства, обеспечивающие нормальную эксплуатацию машин и установок; теплоизоляция вообще
- G01 – Измерение
- G11 – Накопление информации
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
| № | Автор | Патенты |
|---|---|---|
| 1 | Левин В.Л. | 3 |
| 2 | Мордвинцев В.М. | 3 |
| 3 | Бочкарев В.Ф. | 3 |
| 4 | Преображенский М.Н. | 2 |
| 5 | Наумов В.В. | 2 |
| 6 | Федоров В.А. | 2 |
| 7 | Горячев А.А. | 2 |
| 8 | Симаков Н.Н. | 2 |
| 9 | Амиров И.И. | 2 |
| 10 | Бердников А.Е. | 1 |
- Способ получения пленки аморфного гидрогенизированного кремния
Использование: в твердотельной электронике. Сущность изобретения: способ включает разложение моносилана в плазме тлеющего разряда с образованием продуктов реакции и осаждение из них пленки в плазме тлеющего разряда на подложку. Новым является то, что...
- Элемент устройства памяти со структурой металл-изолятор- металл
Изобретение относится к устройствам памяти, реализуемым с помощью методов микро- и нанотехнологии. Сущность: элемент устройства памяти включает два металлических электрода, разделенных электроизолирующей щелью, и углеродистую проводящую фазу в щели,...
- Фокусирующий акустический преобразователь
Использование: в акустических микроскопах и дефектоскопах. Сущность изобретения: преобразователь состоит из основания с вогнутой фокусирующей поверхностью на стороне, обращенной к исследуемому образцу, и нанесенным на эту сторону слоем...
- Способ плазмохимического травления материалов микроэлектроники
Использование: в производстве интегральных схем. Сущность: на материал, помещенный на подложкодержатель, находящийся в магнитном поле и под ВЧ-напряжением частотой 13,56 Мгц, воздействуют химически активной плазмой ВЧ-индукционного разряда пониженного...
- Способ сухой литографии
Использование: микролитография. Сущность изобретения: способ заключается в том, что наносят слой резиста на подложку, формируют в нем скрытое изображение путем экспонирования. Нанесение слоя резиста на подложку осуществляют сухим методом плазменной...
- Элемент устройства памяти со структурой металл - изолятор - металл
Использование: устройства памяти, реализуемые с помощью методов микро- и нанотехнологии. Сущность изобретения: элемент устройства памяти включает два металлических электрода, разделенных электроизолирующим зазором, и частицы углеродистой фазы в зазоре,...
- Способ изготовления низкоомного контакта к кремнию
Использование: в области технологии полупроводниковых приборов, при изготовлении различных интегральных датчиков и преобразователей, фото- и оптоэлектронных устройств, включающих слои пористого кремния и контакты алюминий-кремний. Сущность изобретения:...
- Способ диагностики диэлектрического слоя на проводящей поверхности
Использование: методы исследования тонких пленок и поверхности твердого тела при помощи СТМ. Сущность изобретения: объект помещают в туннельный зазор СТМ, сканируют напряжением U на туннельном зазоре в диапазоне, охватывающем как туннельный, так и...
- Способ определения содержания жира и белка в молоке и устройство для его осуществления
Изобретение относится к области анализа пищевых продуктов и может быть использовано в пищевой и молочной промышленности сельского хозяйства. В способе, заключающемся в облучении пробы точечным источником света, измерении интенсивности рассеянного в...
- Способ получения эпитаксильных пленок
Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано для изготовления интегральных схем. Сущность изобретения: по способу получения эпитаксиальных пленок металлов, диэлектриков и ВТСП-керамики путем магнетронного или...