Патент №2517200 - Способ определения электропроводности и толщины полупроводниковых пластин или нанометровых полупроводниковых слоев в структурах "полупроводниковый слой - полупроводниковая подложка"
Пожалуйста, заполните приведенную ниже форму и полный текст патента будет отправлен Вам на указанный e-mail.