МПК B81 – Микроструктурные технологии
Содержание категории:
Код | Наименование |
---|---|
B81B | Микроструктурные устройства или системы, например микромеханические устройства |
| |
B81C | Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем |
Патенты в категории:
- Способ изготовления композиционных мембран на основе тонких пленок металлов
Изобретение относится к способам изготовления селективных мембран, функционирующих за счет избирательной диффузии водорода сквозь тонкую пленку палладия или его сплава. Способ включает конденсацию в вакууме на очищенную технологическую подложку тонкой...
- Многоконтактное гибридное соединение
Многоконтактное гибридное соединение предназначено для группового механического и/или электрического соединения функциональных устройств микроэлектроники и микромеханики, размещенных на разных подложках. В контактном соединении выполнены расположенные...
- Базовый элемент, имеющий множество проводящих зон
Базовый элемент содержит множество проводящих зон, электрически изолированных друг от друга непрерывными окисленными зонами. Множество проводящих зон содержат подложку для формирования базового элемента. Причем в каждой непрерывной окисленной зоне...
- Защитный корпус электромеханической микросистемы, содержащий промежуточный транслятор проводки
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано, например, в микрогирометрах, микроакселерометрах, микродатчиках давления. Изобретение направлено на повышение надежности, что обеспечивается за счет использования в...
- Способ получения полимерного покрытия на поверхности частиц
Изобретение относится к получению полимерных биосовместимых покрытий на поверхности частиц и может быть использовано в фармакологии, медицине, ветеринарии, косметологии для создания систем векторной доставки лекарственных и биологически активных...
- Устройство для нанесения нанокластерного покрытия
Изобретение относится к микро- и нанотехнологии. Магнетрон, оснащенный полым трубчатым катодом-мишенью (1), присоединен с помощью электромагнитного направляющего устройства (ЭНУ) к рабочей камере (2), в которой смонтирован держатель (3) обрабатываемого...
- Способ изготовления устройств на основе микроэлектромеханических систем, обеспечивающих регулирование воздушного зазора
Способ изготовления по меньшей мере двух типов электромеханических устройств, имеющих различные раскрепленные состояния после удаления временного слоя, состоит в следующем. Берут подложку, по меньшей мере на части подложки формируют первый...
- Интерферометрическая оптическая дисплейная система с широкодиапазонными характеристиками
Дисплей содержит средства пропускания света и средства обеспечения интерференции при отражении света, пропущенного через средства пропускания света. Средства обеспечения интерференции при отражении света содержат поглощающее вещество и подвижный...
- Устройство и способ измерения электрической мощности
Заявленная группа изобретений относится к устройствам и способам измерения электрической мощности. Устройство для измерения электрической мощности содержит: средства для преобразования напряжения в ток в кремниевом микромеханическом элементе,...
- Пространственный световой модулятор с оптической адресацией и способ
Оптическое устройство содержит первый электродный слой. Электрически изолированный первый запирающий слой расположен над первым электродным слоем. Фотопроводящий слой расположен над первым запирающим слоем. Ограничивающий носители слой расположен над...