МПК B81C – Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем
Содержание категории:
| Код | Наименование |
|---|---|
| B81C 1/00 | Изготовление или обработка устройств или систем, выполненных внутри общей подложки или на ней |
|
| |
| B81C 3/00 | Сборка устройств или систем из отдельно обработанных компонентов, подвергающихся обработке |
| B81C 5/00 | Способы или устройства, не отнесенные к группе 1/00 или 3/00 |
Патенты в категории:
- Способ изготовления микроэлектромеханических реле
Изобретение относится к микросистемной технике и может быть использовано при изготовлении микроэлектромеханических реле. Способ изготовления микроэлектромеханических реле включает последовательное формирование на подложке контактной металлизации,...
- Способ изготовления микроэлектромеханических структур и устройство для его осуществления
Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых микроэлектромеханических устройств, а именно малогабаритных датчиков физических величин. Изобретение обеспечивает увеличение количества годных...
- Способ изготовления микроэлектромеханического ключа для защиты информационно-телекоммуникационной аппаратуры космических аппаратов при электромагнитном старте
Изобретение относится к области космического приборостроения и микроэлектроники и может быть использовано для систем защиты информационно-телекоммуникационной аппаратуры ИТА беспилотных малых космических аппаратов от высоких стартовых перегрузок на...
- Способ получения планарного волновода оксида цинка в ниобате лития
Изобретение может быть использовано области интегральной и нелинейной оптики. Способ создания планарного волновода оксида цинка на ниобате лития включает приготовление пленкообразующего раствора с последующим выдерживанием его в течение 1 суток при...
- Способ изготовления наноэлектромеханического преобразователя и наноэлектромеханический преобразователь с автоэлектронной эмиссией
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к средствам измерения линейных ускорений, угловых скоростей и тепловых полей малой интенсивности в инфракрасной и терагерцовой области. Сущность способа изготовления...
- Способ получения газопоглощающей структуры
Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой...
- Способ получения высокопористого покрытия на основе двойных оксидов кремния и марганца
Изобретение относится к технологии получения высокопористых покрытий на основе систем двойных оксидов, применяемых в быстро развивающихся областях электронной техники и светотехнической промышленности, производстве материалов катализаторов, в качестве...
- Способ стабилизации нано- и микроэлектромеханической системы тонкопленочного тензорезисторного датчика давления
Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления. В предлагаемом способе стабилизации нано- и микроэлектромеханической системы тонкопленочного тензорезисторного датчика...
- Способ лазерного осаждения наночастиц из растворов
Изобретение относится к области электротехники и нанотехнологии, в частности к производству материалов электронной техники и квантовой электроники, использующих технологию локализованного нанесения металлических слоев, либо наноструктур на поверхности...
- Пресс-форма и способ ее изготовления
Группа изобретений относится к пресс-формам, предназначенным для получения антиотражающей структуры на изделии. Пресс-форма содержит гибкую полимерную пленку, расположенный на ней слой отверждаемой смолы и слой пористого оксида алюминия на слое...