МПК H01J 27/00 – Приборы с ионным пучком
Содержание категории:
| Код | Наименование |
|---|---|
| H01J 27/02 | Приборы с ионным пучком - ионные источники; ионные пушкиустройства для манипулирования частицами, например фокусирование, G 21K 1/00; генерирование ионов, поступающих в незамкнутое газовое пространство, H 01T 23/00; генерирование плазмы H 05H 1/24 |
|
| |
| H01J 27/04 | Приборы с ионным пучком - с использованием отражательного разряда, например ионные источники Пеннинга |
| H01J 27/06 | Приборы с ионным пучком - без магнитного поля |
| H01J 27/08 | Приборы с ионным пучком - с использованием дугового разряда |
| H01J 27/10 | Приборы с ионным пучком - дуоплазматроныдля использования в ускорителях частиц H 05H 7/00 |
| H01J 27/12 | Приборы с ионным пучком - снабженные цилиндром разложения |
| H01J 27/14 | Приборы с ионным пучком - другие ионные источники на дуговом разряде с использованием магнитного поля |
| H01J 27/16 | Приборы с ионным пучком - с использованием высокочастотного возбуждения, например сверхвысокочастотного |
| H01J 27/18 | Приборы с ионным пучком - с аксиальным магнитным полем |
| H01J 27/20 | Приборы с ионным пучком - с использованием бомбардировки частицами, например ионизаторы |
| H01J 27/22 | Приборы с ионным пучком - металлические ионные источники |
| H01J 27/24 | Приборы с ионным пучком - с использованием фотоионизации, например с использованием лазерного луча |
| H01J 27/26 | Приборы с ионным пучком - с использованием поверхностной ионизации, например ионные источники с эмиссией под действием поля, термоионные источники ионов 27/20, 27/24 имеют преимущество |
Патенты в категории:
- Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта и способ его применения
Изобретение относится к области обработки поверхности объекта. Устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта содержит кольцевой источник ионов, формирующий ионный пучок, распространяющийся в промежутке между двумя...
- Плазменный эмиттер электронов
Изобретение относится к технике получения низкотемпературной плазмы и может быть использовано в источниках электронных и ионных пучков в качестве эмиттера. Технический результат - обеспечение простой и надежной конструкции плазменного эмиттера на...
- Высокочастотный генератор для ионных и электронных источников
Изобретение относится к устройствам для ввода энергии ионизации в ионный или электронный источник с индуктивным или индуктивно-емкостным возбуждением. Заявленное устройство включает в себя разрядную камеру для ионизируемого газа, намотанную вокруг...
- Источник с катодным конусом высокочастотных импульсов ионов водорода
Изобретение относится к ускорительной технике. Источник с катодным конусом содержит соленоидную катушку, надетую на немагнитную вакуумную камеру, внутри которой помещены два магнитных полюса, два катода и анод в виде цилиндра с отверстием. Второй катод...
- Плазменный эмиттер ионов
Изобретение относится к технике получения плазмы и генерации широких ионных пучков с большим током. Эмиттер содержит электродную систему тлеющего разряда, включающую полый катод, выполненный в форме конуса с эмиссионным окном в торце, стержневой анод,...
- Дуговой генератор газоразрядной плазмы с холодным полым катодом
Изобретение относится к технике получения низкотемпературной плазмы в больших вакуумных объемах. Сущность: другой генератор газоразрядной плазмы состоит из вакууумной камеры-анода и полного цилиндрического холодного катода, помещенного в аксиальное...
- Источник ионов с эффектом полого катода
Изобретение относится к источникам ионов, применяемым на ускорителях заряженных частиц. Техническим результатом является уменьшение давления рабочего газа в ионном источнике и увеличение генерируемого им тока ионов. Источник ионов с эффектом полого...
- Быстродействующий газовый клапан низкого давления
Изобретение относится к клапанам и предназначено преимущественно для быстрого и точного регулирования газовой среды накопительных камер инжекторов холодной плазмы, в реакторах для синтеза легких ядер, при давлении газа на входе клапана не более 10 мм...
- Ленточный плазменный эмиттер ионов
Изобретение относится к технике получения плазмы и генерации ионных пучков с большим током. Эмиттер содержит магнитную систему и электродную систему тлеющего разряда, включающую полый прямоугольный цилиндрический катод, в одной из сторон которого...
- Плазменный источник с полым катодом
Использование: в микроэлектронике при катодном распылении веществ, а также в масс-спектрометрии при элементном анализе твердых тел с высокой чувствительностью методом тлеющего разряда. Сущность изобретения: плазменный источник с полым катодом включает...