Патент №2006098 - Устройство ввода движения в камеру

Сущность изобретения: магнитопровод ввода жестко соединен с валом, установленным в подшипниках стакана, к дну которого прикреплен нагреватель с нагревательным элементом и вакуумными электровводами. Торец вала снабжен элементами крепления объекта. Стакан имеет жесткую связь с верхней кареткой столика, который обеспечивает качание объекта в двух взаимно-перпендикулярных направлениях по сфере, центр качания которой находится в центре поверхности подложки. 1 з. п. ф-лы, 2 ил.