Патент №2006983 - Способ тестирования полупроводниковых микроприборов

Использование: контактные измерения электрических параметров полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: перед контактированием на зонды наносят жидкий металл (сплав) или токопроводящую жидкость. Контактирование микроприбора осуществляют путем притягивания его электрическим полем зондов, на которые подают электрическое напряжение через токоограничитель. 1 ил.