Патент №2006986 - Способ изготовления интегральных схем

Использование: способ включает следующие операции: изготовление активных элементов интегральной схемы; нанесение на них слоя контрольной металлизации; определение исправных элементов, удаление контрольной металлизации; соединение межсоединений исправных элементов методом бесшаблонной литографии. 3 ил.

Патент №2006986, изображение 1
Патент №2006986, изображение 2
Патент №2006986, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК H01L 21/00Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей