Патент №2006993 - Интегральный балочный тензопреобразователь
Использование: в устройствах измерения перемещений, ускорений, потока, силы и давления. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой прямоугольный модуль из кремния с концентратором механических напряжений в виде поперечного углубления заданных размеров, на рабочей поверхности которого сформирован тензорезистивный мост. Кроме того, для улучшения эксплуатационных характеристик прибора в противоположном от концентратора конце со стороны поперечного углубления может быть расположено углубление или сквозное отверстие, которое является самосовмещенным с границами концентратора механических напряжений. Каждая контактная площадка преобразователя может состоять из двух частей, одна из которых является алюминевой, а на поверхности второй имеется бугорок припоя. 3 з. п. ф-лы, 5 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК H01L 29/00 | Полупроводниковые приборы, специально предназначенные для выпрямления, усиления, генерирования или переключения и имеющие по меньшей мере один потенциальный барьер, на котором имеет место скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер; конденсаторы или резисторы, содержащие по меньшей мере один потенциальный барьер, на котором имеет место скачкообразное изменение потенциала, или поверхностный барьер, например имеющие обедненный слой с электронно-дырочным переходом или слой с повышенной концентрацией носителей; конструктивные элементы полупроводниковых подложек или электродов для них |