Патент №2007057 - Газовый нейтрализатор ионного пучка

Использование: в технике получения и применения ионных пучков в качестве газового нейтрализатора ионного пучка. Сущность изобретения: газовый нейтрализатор выполнен на основе двух встречно установленных вакуумных турбомолекулярных насосов с двумя шаровыми роторами, имеющими взаимно перпендикулярные оси вращения. Насос подачи газа снабжен неподвижной заслонкой, установленной в подающей части паза центрального ротора, экранирующей рабочее пространство паза от поверхности внешнего ротора. 1 ил.