Патент №2007500 - Устройство для нанесения пленок в вакууме

Использование: изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для нанесения магнитных и других пленок в вакууме. Испаритель установлен в вакуумной камере на заглушке, герметично связанной с сильфоном, который герметично соединен с вакуумной камерой, с заглушкой одним концом подвижно связан эксцентриковый вал посредством подшипника качения, а другой конец эксцентрикового вала подвижно связан с водилом, в котором выполнен спиральный паз, водило установлено на валу электродвигателя с возможностью вращения, а улита неподвижно на торце электродвигателя. Такая конструкция повышает равномерность и однородность наносимой пленки. 2 ил.