Патент №2008738 - Источник ионов
Использование: в технологических целях для имплантации ионов, электромагнитного разделения изотопов. Сущность изобретения: источник ионов выполнен в виде однопотенциального блока, состоящего из разрядной камеры с экстракционной щелью 2, прямонакального катода 3, припаянного к графитовой подложке 4, с графитовыми держателями 5 и токовыводами 6, и электрода-отражателя 7. Использование катода с развитой рабочей поверхностью позволяет получать вблизи экстракционной щели высокую концентрацию плазмы. Использование анода существенно увеличивает концентрацию плазмы за счет образования потока всех видов заряженных частиц, содержащихся в плазме, направленного к экстракционной щели поперек силовых линий внешнего магнитоного поля b без нарушения квазинейтральности плазмы. Данный эффект достигается за счет образования электронного холловского тока в e b полях. Использование катодов и электродов-отражателей, изготовленных из карбидов, нитридов и боридов циркония, более устойчивых к ионной бомбордировке и химической эрозии, чем вольфрам, позволяет повысить в несколько раз ресурс источника ионов, особенно при работе в низковольтных режимах разряда. 2 з. п. ф-лы, 5 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК H01J 27/00 | Приборы с ионным пучком |