Патент №2008741 - Реактор для плазменного осаждения
Использование: изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано для плазменного осаждения материалов в микроэлектронике. Сущность изобретения: редактор содержит корпус в виде трубы, на одном конце которого размещен патрубок для откачки реактора, а на другом - герметизирующая крышка. ВЧ-электроды размещены с внешней стороны корпуса, экранирующий элемент в виде диска из осаждаемого материала размещен внутри корпуса перед патрубком для откачки реактора. 1 ил. , 2 табл.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК H01L 21/00 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей |