Патент №2010380 - Микроэлектронный вакуумный прибор

Изобретение относится к области электронных приборов, в частности к электронно-вакуумным приборам, и может быть использовано в устройствах усиления, регенерирования, преобразования электрических сигналов и других электронных устройствах. Цель изобретения - снижение потребляемой мощности и габаритов. Сущность изобретения: микроэлектронный прибор содержит помещенные в корпус анод, катод и перфорированный управляющий электрод. Новым является то, что холодный катод выполнен пленочной структурой широкозонный n - p гомопереход - изотипный p-p+-гетеропереход, на котором последовательно размещены управляющий электрод типа решетчатый слой диэлектрика - решетчатый слой металла, верхний решетчатый слой диэлектрика со слоем металла по контуру, на котором закреплен пластинчатый анод, при этом омический контакт изотипного p-p+-гетероперехода выполнен решетчатой структурой металл-диэлектрик, p+-область равна ширине изотопного перехода, соотношение толщин решетчатых слоев металла и диэлектрика управляющего электрода составляет (5 : 1) - (10 : 1), а отношение длины проема решетки к длине остава находится в интервале от 10 до 103. 1 ил.

Патент №2010380, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК H01J 21/00Электронные вакуумные приборы