Патент №2029980 - Лазерное проекционное устройство формирования изображения топологии интегральных схем

Использование: в микроэлектронике для формирования изображения топологии слоев при изготовлении интегральных схем. Сущность изобретения: в известное устройство введены фазовый оптический модулятор света, оптический делитель и матрица фотоприемников, причем фазовый оптический модулятор света установлен между лазером и осветительной системой, оптический делитель установлен так, что на одном его выходе расположена проекционная система, а на другом - матрица фотоприемников, связанная с матрицей оптических модуляторов света электрически. Фазовый оптический модулятор света исключает когерентный шум на элементах изображения и стоячую волну в слое фоторезиста. Матрица фотоприемников выравнивает коэффициенты пропускания элементов матрицы оптических модуляторов света. Оптический делитель позволяет пространственно согласовать матрицу оптических модуляторов света с матрицей фотоприемников. 1 ил.