Патент №2030738 - Датчик газоанализатора

Сущность изобретения: датчик содержит кремниевую подложку со сквозным отверстием, покрытым с рабочей стороны датчика мембраной из диоксида кремния. На мембране последовательно расположены пленочный нагреватель, слой диэлектрика, газочувствительный полупроводниковый слой, а также токопроводящие контакты к нагревателю и газочувствительному слою. Отверстие в подложке заполнено окисленным пористым кремнием, концентрация пор в котором от границы раздела с мембраной линейно уменьшается по глубине отверстия от 60 до 20%. 1 ил.

Патент №2030738, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК G01N 27/00Исследование или анализ материалов с помощью электрических, электрохимических или магнитных средств