Патент №2031489 - Способ изготовления преобразователя поверхностных акустических волн на основе пьезоэлектрической пленки

Использование: при изготовлении устройства на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Способ изобретения: на рабочую поверхность подложки в вакууме осаждают пленочную систему, состоящую из адгезионного слоя и пленки алюминия, методом фотолитографии формируют из поеночной системы электроды преобразователя ПАВ и на электроды преобразователя в вакууме осаждают пьезоэлектрическую пленку, например, оксида цинка, в качестве адгезионного слоя, предотвращающего образование бугорков на поверхности алюминевой пленки, используют пленку иттрия толщиной не менее 20 нм.

Классификация патента

Код Наименование
МПК H01L 41/00Пьезоэлектрические приборы вообще; электрострикционные приборы вообще; магнитострикционные приборы вообще; способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов и их частей; конструктивные элементы таких приборов
МПК H03H 3/00Способы и устройства для изготовления цепей с активными и реактивными сопротивлениями, резонансных контуров или резонаторов