Патент №2032766 - Магнетронное распылительное устройство

Использование: в установках электронно-лучевой технологии. Технический результат: улучшение наносимого покрытия с одновременным увеличением скорости осаждения ферромагнитных материалов. Сущность: в магнетронном распылительном устройстве, содержащем катод-мишень, магнитную систему, магнитопровод с полюсными наконечниками, магнитопровод выполнен с кольцевым выступом, на котором установлена распыляемая мишень, а постоянные магниты выполнены из феррита бария. Положительный эффект: магнитное распылительное устройство позволяет получить покрытия как магнитных, так и немагнитных материалов с равномерностью (15%) по поверхности и высокой скоростью осаждения. 1 ил.