Патент №2057817 - Способ получения бинарного химического соединения на твердой поверхности

Изобретение относится к получению различных соединений на твердой поверхности. Сущность изобретения: поверхность твердого тела, размещенного в герметичном вакуумированном объеме, заполненном газовой фазой участвующих в реакции компонентов, облучают потоком фотонов с частотой, соответствующей спектральной линии по крайней мере одного из компонентов. При этом энергия фотонов должна быть не менее энергии активации реакции образования бинарного химического соединения. Плотность мощности излучения определяется из математического выражения.

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/00Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие