Патент №2058424 - Испаритель

Использование: в микроэлектронике, устройствах для нанесения покрытий. Сущность изобретения: испаритель, содержащий тигель, нагреватель и формирователь потока пара, снабжен рыхлителем, установленным внутри плоского со щелевидной полостью тигля с возможностью возвратно-поступательного перемещения. Между формирователем потока пара и рыхлителем размещена соединенная с ними форсунка. Дополнительно предусмотрены формы выполнения тигля, рыхлителя и форсунки. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.