Патент №2058426 - Анодный узел устройства для обработки изделий с использованием плазмы газового разряда

Использование: в машиностроении при обработке изделий в вакууме, в частности в установках для нагрева и комплексной обработки изделий в газовой ступени плазмы двухступенчатого вакуумно-дугового разряда. Сущность изобретения: анод выполнен из электроизолированных секций, соединенных через индивидуальные токоподводы с выводами фаз многофазного источника переменного тока. Общая точка соединенных звездой фаз источника соединена с землей и положительным полюсом источника постоянного тока. Отрицательный полюс последнего соединен с катодом разряда. Это повышает однородность обработки за счет обеспечения возможности изменения положения области плазмы с повышенной плотностью по заданной траектории. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Патент №2058426, изображение 1
Патент №2058426, изображение 2

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/00Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие