Патент №2058612 - Способ изготовления зондирующего эмиттера для туннельной микроскопии

Использование: в эмиссионной электронике, в технологии изготовления зондов для туннельных микроскопов и образцов для автоэмиссионной микроскопии. Сущность изобретения: с целью упрощения процесса и получения зондов с гладкой поверхностью (что способствует снижению фона) у кончика предварительно утоненной проволочной заготовки за счет электрического разряда в инертной атмосфере создают шарик, а затем импульсным электротравлением создают "шейку" у основания шарика. При отрыве шарика образуется конструкция в виде тонкого столбика на относительно толстом гладком острие. Положительный эффект: упрощение способа за счет исключения специального оборудования и повышения удобства работы, а также исключение концентраторов электрического поля, которые в сильных полях приводят к паразитной эмиссии и созданию фона. 2 ил.