Патент №2060296 - Способ обработки или покрытия субстратов и устройство для его осуществления

Использование: для экономичного и быстрого снабжения крупноразмерных субстратов покрывающими слоями, которые плотнее и однороднее, чем известные покрытия. Сущность: пригодный для осаждения реакционный газ протекает по покрываемой поверхности и посредством генерируемых в полом волноводе микроволн возбуждается в шнуровую плазму. Для этого используется квадратный в сечении полый волновод, в котором возбуждают две поляризованные перпендикулярно друг к другу стоячие волны, которые смещены относительно друг друга на четверть длины волны. Подвод микроволн к плазме производится через продольную щель, выполненную в одном из ребер волновода. В волноводе расположены два перекрещивающихся микроволновых поляризатора. Поляризатор, смежный с соответствующим подводом, для вводимых по нему микроволн является проницаемым, а поляризатор, удаленный от соответствующего подвода, для вводимых по нему микроволн является непроницаемым. Расстояние между концевой стенкой и соответствующим удаленным от нее поляризатором выбрано из условия образования стоячих волн. 2 с. и 2 з. п. ф-лы, 8 ил., 2 табл.