Патент №2064707 - Способ анализа количественного состава поверхности твердого тела
Сущность изобретения: в способе анализа количественного состава поверхности твердого тела, облучают поверхность пучком атомов или ионов, регистрируют масс-спектр распыленных частиц, определяют содержание элементов по интенсивности линий масс-спектра. При этом учитывают атомный номер частиц пучка, корреляционные диаграммы молекулярных орбиталей и условия образования внутренней вакансии в распыленной частице. Выбор энергии частиц и угла распыления на основании приведенных аналитических выражений обеспечивает образование внутренней вакансии в распыленной частице, что позволяет повысить степень ионизации распыленных частиц и обеспечить ее строгий контроль. 2 ил.,1 табл.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК G01N 23/00 | Исследование или анализ материалов радиационными методами, не отнесенными к группе 21/00 или 22/00, например с помощью рентгеновского излучения, нейтронного излучения |
| МПК H01J 49/00 | Спектрометры элементарных частиц или разделительные трубки |