Патент №2076379 - Способ изготовления тонкопленочного электролюминесцентного индикатора
Изобретение относится к области технологии электролюминесцентных индикаторов. Сущность изобретения: способ изготовления тонкопленочного электролюминесцентного индикатора путем выполнения углублений, в прозрачной диэлектрической подложке методом фотолитографии по конфигурации нижних электродов, затем наносят систему слоев и фоторезиста и проводят операцию "взрывной фотолитографии". 5 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК H01J 9/00 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления электронных или газоразрядных приборов, разрядных осветительных ламп или их деталей; восстановление материала из электронных или газоразрядных приборов или ламп |