Патент №2076392 - Зондовая головка для измерения параметров кристаллов
Использование: изобретение относится к области полупроводникового машиностроения, в частности к устройствам зондового измерения полупроводниковых структур. Сущность: обратная сторона основания полностью металлизирована и заземлена, а к ней присоединены заземляющие контакты головки. В основании выполнено отверстие, размеры которого больше размеров измеряемого кристалла. 2 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК H01L 21/00 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей |