Патент №2077091 - Устройство для исследования поверхности проводящих образцов

Использование: изобретение относится к технике измерений и может быть использовано в исследовательских и технологических установках для контроля рельефа поверхности образцов и локального воздействия на них. Сущность изобретения: устройство содержит жесткозакрепленный на цилиндрическом держателе пьезоманипулятор с измерительной иглой, верхняя часть которого через упругий элемент прикреплена к неподвижной опоре, а нижняя - жестко связана с лыжами, установленными на исследуемой поверхности, образуя с ней пару скольжения, а образец закреплен на узле перемещения в виде насаженного на вал диска, и приспособление для подвода образца к измерительной игле. При этом рабочие поверхности пары скольжения выполнены с шероховатостью Rr0,05 мкм, а l0,1 rk, где rk - наибольший линейный размер области касания лых с поверхностью образца, rk - наименьший из радиусов кривизны поверхности образца. Такая конструкция обеспечивает работоспособность устройства в 4-х режимах, т.е. обладает более широкими функциональными возможностями, позволяя производить измерения и исследования поверхности движущегося образца по всей его поверхности и не ограничивать его размеры. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Патент №2077091, изображение 1
Патент №2077091, изображение 2

Классификация патента

Код Наименование
МПК H01J 37/00Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки