Патент №2086037 - Электростатический анализатор энергии заряженных частиц

Изобретение относится к устройствам для энергетического анализа заряженных частиц и может быть использовано для физико-технического анализа поверхности твердого тела, например, в качестве узла оже-спектрометра. Сущность изобретения: электростатический анализатор энергий заряженных частиц снабжен дополнительным фланцем 17, на котором размещены источник ионизирующего излучения 9, выходная диафрагма 12 и коллектор вторичных электронов 14 и образующим с ними единый функциональный легко-съемный узел. Дополнительный фланец 17 установлен на съемном фланце 19 и подпружинен относительно него посредством пружин 25 в направлении к размещенным на нем элементам, что обеспечивает возможность перемещения дополнительного фланца 17 в плоскости, перпендикулярной электронно-оптической оси 0 анализатора, в направлении оси 0 и наклона относительно оси 0. В результате облегчается осмотр, регулирование и замена деталей источника 9, диафрагмы 12 и коллектора 14 и повышается точность их установки относительно оси 0. 2 ил.