Патент №2110112 - Способ формирования пленочных элементов на основе платины

Использование: электронная техника, в процессах формирования пленочных элементов микроэлектронных устройств. Сущность изобретения: при формировании пленочных элементов на основе платины производят нанесение на подложку с бескислородным диэлектрическим покрытием металлооксидного адгезионного слоя и слоя платины, фотолитографическое выполнение конфигурации элементов. Адгезионный слой наносят распылением титана в кислородсодержащей плазме, начиная при соотношении давлений PO2 / p = 0,3 - 0,4 и заканчивая при PO2 / p < 0,2, где PO2 - давление кислорода, p - общее давление смеси. После нанесения слоя платины производят отжиг в вакууме до восстановления диоксида платины до платины и низших окислов, а после формирования конфигурации элементов подложку подвергают отжигу в кислородсодержащей среде.

Классификация патента

Код Наименование
МПК H01L 21/00Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей