Патент №2110611 - Способ получения покрытия на титане и его сплавах

Способ получения покрытия на титане и его сплавах включает анодирование поверхности титана или его сплавов в условиях плазменно-искрового разряда, при этом предварительно осуществляют электрохимическую полировку обрабатываемой поверхности, а анодирование проводят в расплавленной эвтектической смеси нитратов натрия и калия при 230-310oC, в условиях плазменно-искрового разряда при напряжении U =100-130 В и плотности тока 1=8-10 А/см2. Способ позволяет получать изоляционные покрытия с минимальной пористостью, высоким удельным поверхностным и объемным сопротивлением, теплопроводностью, термостойкостью, высоким значением пробивного напряжения, что дает возможность использовать его при изготовлении металлооксидных подложек толстопленочных гибридных интегральных схем. 2 ил.