Патент №2110871 - Прецизионный интегральный поликремниевый резистор и способ его изготовления

Изобретение относится к конструированию прецизионных интегральных поликремниевых резисторов и может быть использовано в аналоговых и аналого-цифровых интегральных схемах (ИС). За счет экранирования резистивного поликремния от подложки локальными экранами из проводящего материала достигается эффект повышения точности воспроизведения сопротивлений и отношения сопротивлений интегральных поликремниевых резисторов, устранения зависимости сопротивления резисторов от напряжения между резистором и подложкой (в том числе и от напряжения питания ИС), а также улучшения временной стабильности сопротивлений. 2 с. и 5 з.п. ф-лы, 4 ил.