Патент №2114209 - Способ нанесения покрытий в вакууме

Использование: нанесение покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов. Сущность изобретения: перед размещением изделий в вакуумной камере, оснащенной плазмооптической системой, на его поверхность наносят полифункциональный мономер, затем изделия помещают в вакуумную камеру, подают на них напряжение смещения и осуществляют обработку потоком ионов испаряемого дуговым разрядом материала катода на стадии разогрева, а также конденсации покрытия в среде газа-реагента. При этом конденсацию покрытия проводят при давлении газа-реагента (2-3)10-3 мм рт.ст. в течение 1/3 общего времени конденсации при токе фокусирующей плазмооптической системы 0,5-0,6 A, после чего давление снижают до (3-6)10-4 мм рт.ст. с синхронным снижением тока до 0,2-0,3 A и продолжают конденсацию в течение 2/3 общего времени конденсации, затем испарение материала катода прекращают, давление газа-реагента повышают до (2-5)10-2 мм рт.ст. и выдерживают изделие в камере в течение 3-5 мин. После этого изделия выгружают из камеры. 2 табл.