Патент №2120118 - Способ исследования планарного оптического волновода

Использование: исследование параметров тонких диэлектрических пленок. Сущность изобретения: способ включает создание области оптического контакта между поверхностью волновода и элементов связи, выполненного из двух или более оптически изолированных друг от друга соединенных между собой частей, вывод излучения из волновода, измерение углового распределения интенсивности излучения, прошедшего через волновод, и вычисление по угловому распределению параметров волновода. 1 ил.

Патент №2120118, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК G01M 11/00Испытание оптической аппаратуры; испытание конструкций или устройств оптическими способами, не отнесенными к другим классам или подклассам