Патент №2138830 - Способ отбраковочных испытаний подложки из диэлектрика или полупроводника с топологией, изделий электронной техники на стойкость к внешним воздействующим факторам

Изобретение относится к способам электрического контроля и испытаний на постоянном и переменном токе с последующей отбраковкой подложек из диэлектрика или полупроводника, содержащих изделия электронной техники и электротехники (электрорадиоизделия), содержащих плоские и объемные проводящие области, содержащих активные и пассивные функциональные элементы в виде полупроводниковых приборов, многослойных трехмерных структур, пленок с различным типом электрической проводимости, жидкокристаллических панелей и др. Способ отбраковочных испытаний подложки из диэлектрика или полупроводника с топологией, изделий электронной техники на стойкость к внешним воздействующим факторам основан на измерении значений электрофизических параметров испытуемых подложек в режиме по крайней мере одного двухполюсника при и/или после воздействия внешних воздействующих факторов и последующего сранения полученных значений параметров с аналогичными параметрами контрольного образца и отбраковки не соответствующих нормам испытаний подложек, при этом двухполюсник формируют выделением на подложке двух изолированных шин питания а и b гальванического объединения оставшихся электрических цепей в (n-2)-шин и гальванического соединения получившихся конгломератов электрических шин а,b,.. .(n-2) друг с другом. Способ обеспечивает низкую трудоемкость, высокую эффективность, функциональность, надежность, возможность оперативной оценки конструкторско-технологических запасов образцов. 12 з.п.ф-лы, 3 ил.

Патент №2138830, изображение 1
Патент №2138830, изображение 2
Патент №2138830, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК G01R 31/00Устройства для определения электрических свойств; устройства для определения местоположения электрических повреждений; устройства для электрических испытаний, характеризующихся объектом, подлежащим испытанию, не предусмотренным в других подклассах
МПК H01L 21/00Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
МПК H05K 1/00Печатные схемы