Патент №2166423 - Способ полирования пластин из керамических материалов

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в производстве пассивных плат для гибридных интегральных схем. Способ полирования включает воздействие на поверхность пластин инструмента и полирующего состава. Последний содержит алмазный порошок, глицерин и синтетическое моющее средство. При этом осуществляют дозировку в зону обработки разбавителя. Количество полирующего состава и разбавителя берут из соотношения (в об. ед. ) 1 : 3-6 соответственно. Полирование ведут на глубину не менее 30 мкм, по меньшей мере, в два этапа. На первом этапе в качестве разбавителя используют воду, а на втором - 3,4-11,0%-ный коллоидный раствор диоксида кремния. Причем на втором этапе удаляют припуск в 15 мкм. Такие действия позволяют достичь требуемого качества поверхности для последующей металлизации пластин путем вакуумного напыления. 1 табл.