Патент №2172951 - Способ изготовления тонкопленочного датчика для анализа аммиака в газовой среде

Использование: изобретение относится к полупроводниковой сенсорной технике и может быть использовано для изготовления недорогих и простых в изготовлении датчиков для определения концентрации аммиака в газовой среде. Технический результат изобретения заключается в повышении чувствительности тонкопленочного датчика для анализа аммиака в газовой среде и сокращении расхода материала, используемого для изготовления датчика. Сущность: способ включает нанесение газочувствительного слоя химически очищенного фталоцианина меди на подложку с электродами, технохимическую активацию этого слоя и прогрев газочувствительного слоя. Слой фталоцианина меди наносят при температуре подложки 195-205°С толщиной не более 20 нм, которая подвергается легированию кислородом в низком вакууме. 3 ил., 1 табл.

Патент №2172951, изображение 1
Патент №2172951, изображение 2
Патент №2172951, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК G01N 27/00Исследование или анализ материалов с помощью электрических, электрохимических или магнитных средств