Патент №2179351 - Способ контроля дефектности диэлектрических пленок
Использование: в технологии микроэлектроники для контроля качества подзатворных диэлектриков, маскирующих, защитных или изолирующих слоев. Технический результат способа - повышение чувствительности контроля дефектности диэлектрических пленок за счет снижения экранирующего дефекты влияния примесей. Сущность изобретения: способ контроля дефектности пленок включает эллипсометрические измерения показателя преломления пленки. Перед измерениями к пленке перпендикулярно ее поверхности в течение 90-120 мин прикладывают постоянное электрическое напряжение, величина которого в 10-50 раз меньше напряжения пробоя, о степени дефектности пленки судят по скорости изменения ее показателя преломления после снятия напряжения. 1 табл.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК H01L 21/66 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей - испытания или измерения в процессе изготовления или обработкипосле изготовления G 01R 31/26 |