Патент №2181212 - Способ перемещения зонда сканирующего микроскопа- нанолитографа в поле грубого x-y позиционера

Изобретение относится к прецизионной измерительной технике и нанотехнологии и предназначено для использования в сканирующем зондовом микроскопе, в зондовом нанолитографе, зондовом запоминающем устройстве большой емкости. Техническим результатом изобретения является повышение точности и линейности позиционирования зонда на большой площади поверхности образца. Вначале движение выполняется посредством точного позиционера до момента достижения им границы своего диапазона. Затем производится поиск и привязка зонда к ближайшей особенности поверхности. После этого грубый позиционер выполняет перемещение в таком направлении, чтобы следующий за ним точный позиционер перемещался к противоположной границе своего диапазона. После достижения этой границы описанная выше последовательность действий повторяется циклически до момента прихода зонда в точку на поверхности, отстоящую от исходной на заданное расстояние. 1 ил.