Патент №2197558 - Способ изготовления каталитически активных слоев

Изобретение может быть использовано для катализа химических реакций, например реакций окисления углеводородов. Способ изготовления каталитически активных слоев, состоящих из носителя и катализатора реакций, заключается в их одновременном магнетронном напылении на подложку и последующем отжиге напыленных слоев. Напыление проводят при наклоне поверхности подложки к оси разряда магнетрона на угол менее 90o с периодическим поворотом подложки вокруг оси, перпендикулярной к ее поверхности, а перед напылением наносят на подложку рельеф в виде выступов и/или углублений, причем высоту рельефа выполняют равной не менее толщины напыляемого слоя. Напыление проводят в высокочастотном режиме магнетрона. Угол между поверхностью и осью магнетрона выбирают из интервала 50 - 70o. Периодический поворот подложки вокруг оси, перпендикулярной плоскости подложки, осуществляют в одном направлении на угол поворота 80 - 100o, а толщину слоя регулируют временем напыления. Отжиг напыленных слоев проводят в условиях, при которых парциальное давление материала катализатора составляет не более 410-5 Па. Изобретение позволяет повысить активность катализатора и стабилизировать его свойства путем регулирования морфологии слоев. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.