Патент №2199027 - Геттерный насос

Геттерный насос предназначен для использования в области насосостроения. Насос содержит геттерное устройство. Последнее расположено в кольцеобразной периферической зоне цилиндрического картриджа. Последний установлен соосно внутри стального цилиндрического корпуса или короткой стойки. Цилиндрический корпус и стойка расположены между рабочей камерой и турбомолекулярным насосом. Геттерное устройство нагревается за счет прямой подачи электропитания к нитевидному металлическому элементу. Обеспечивается улучшение эффективности откачки насоса. 6 з.п.ф-лы, 5 ил.